Образец резки кремния. Слева – резка кремния со вспомогательной водяной струей; справа – традиционная резка с защитной воздушной струей.

Предназначена для лазерной обработки кремния и других материалов: сверления отверстий и резки пластин. Непосредственно в точку резания подается микроструя воды высокого давления, которая удаляет продукты абляции и уменьшает зону теплового влияния в обрабатываемых материалах.

Основные технические характеристики:

Размер зоны обработки                               до 400 х 400 мм

Скорость резки                                            60 мм/мин

Материалы                                                   Кремний, металлы

Длина волны лазерного излучения           1,06 мкм или 0,53 мкм

Диаметр пятна фокусировки                     30 мкм

Частота повторения импульсов                30 кГц

Густота мощности на образце                   4х107 Вт/cм2

Диаметр водяной микроструи                  150 мкм

Давление воды                                           20 – 100 бар

Потребление электроэнергии                   1 кВт

Применение:

    * лазерное сверление отверстий в кремнии и других материалах;

    * микрорезка материалов.